為了使多晶硅廢水處理設備處理后的廢水達標排放或進行口用，在處理過程需要使用多種化學藥劑。根據用途的不同，可以將這些藥劑分成以下幾類;
?。?）絮凝劑：有時又稱為混凝劑，可作為強化固液分離的手段，用于初沉池、二沉池、浮選池及三級處理或深度處理等工藝環(huán)節(jié)。
　  (2） 助凝劑：輔助絮凝劑發(fā)揮作用，加強多晶硅廢水處理設備的汽凝效果。
?。?）調理劑：又稱為脫水劑，用于對脫水前剩余污泥的調理，其品種包括上述的部分絮凝劑和助凝劑。
?。?）破乳劑：有時也稱脫穩(wěn)劑，主要用于對含有乳化油的含油廢水氣浮前的預處理，其品種包括上述的部分絮凝劑和助凝劑。
　  (5）消泡劑：主要用于消除多晶硅廢水處理設備時的曝氣或說拌過程中出現(xiàn)的大量泡沫。
　  (6）pH調整劑：用于將酸性廢水和堿性廢水的pH值調整為中性。
?。?）氧化還原劑：用于含有氧化性物質或還原性物質的工業(yè)廢水的處理。

　  (8）消毒劑：用于在多晶硅廢水處理設備處理后排放或回用前的消毒處理。